6. ESD-Forum 1999 (München)
Tagungsprogramm
Sitzung 1: ESD-Umgebung
- Elektrostatische Aufladung von Personen
J. Thürmer – 3M Eurolab - Veränderungen nach der Bestätigung der neuen ESD-Vorschriften IEC61340-5-1 und IEC61340-5-2 - Meßverfahren für den Ableit-, Oberflächen- und Durchgangswiderstand
H. Berndt – B.E.STAT GmbH - Untersuchung der ESD-Tauglichkeit von leitfähigen Industrieböden in ESD-Schutzzonen
R. Pfeifle – Wolfgang Warmbier - Der Einfluß der Annäherungsgeschwindigkeit und der Luftfeuchtigkeit auf der Störwirkung der ESD
S. Frei – Audi AG - Field Induced CDM-Ausfall in der Halbleiterfertigung
R. Gärtner – Infineon Technologies AG - Stand der Normungen im TC 101
H. Eisfeld
Sitzung 2: Elektrostatik auf Halbleiterebene
- HBM- and TLM-ESD Wafer Mapping
J. Reiner – Philips Semiconductors AG - Übertragbarkeit der ESD-Konzepte von CMOS-Technologien auf deren BiCMOS-Pendants
K. Esmarck –Infineon Technologies AG - Transient Induced Latch-Up Triggered by Very Fast Pulses
D. Bonfert – Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration - Influence of Device Geometry on ESD-Performance for Deep Submicron CMOS Technology
K. Bock – IMEC - Einfluß der Anzahl der Belastungspulse auf die HBM-ESD-Festigkeit elektronischer Bauelemente
T. Brodbeck – Infineon Technologies AG - Application of an ESD-MOS Compact Model for IC Design
M. Mergens – Robert Bosch GmbH